ZMAREZ® 375W 全氟弹性体零件是一种白色的产品,拥有优良的耐化学特性。具有良好的耐氧气,氟基等离子体。它还具有优异的热稳定性、压缩永久变形性能。适用于刻蚀,沉积等复试性较高的工况环境,最高使用温度为250℃。
ZMAREZ® 375W 可加工成O形圈、膜片、垫圈、胶条、胶板及客户定制产品。
优异的耐化性
较低的金属离子析出
低压变
动态
舱门
摆阀、隔离阀
腔室密封
唇形密封
静态
进气口密封
排气阀
KF接头密封
观察窗
沉积:LPCVD、CVD、APCVD、HDPCVD、PECVD、RPCVD、SACVD
等离子刻蚀
灰化
离子注入