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产品类别
全氟醚橡胶


ZMAREZ® 579W 全氟弹性体零件是一种白色的产品,拥有优良的耐化学特性。具有良好的耐氧气,氟基等离子体。它还具有优异的热稳定性、压缩永久变形性能。适用于刻蚀,沉积等复试性较高的工况环境,最高使用温度为315℃。


ZMAREZ® 579W 可加工成O形圈、膜片、垫圈、胶条、胶板及客户定制产品。



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优异的耐化学性

较低的金属离子

低压变

动态

舱门

摆阀、隔离阀

腔室密封

唇形密封

静态

进气口密封

排气阀

KF接头密封

观察窗

沉积:LPCVD、CVD、APCVD、HDPCVD、PECVD、RPCVD、SACVD

等离子刻蚀

灰化

高温炉