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产品类别
全氟醚橡胶

ZMAREZ® 930A 全氟弹性体零件是一种深褐色产品,具有高洁净度,优异的热稳定性、压缩永久变形和放气性能,优良的抗等离子体性能,产生极少的粒子。适用于半导体制程中等离子体的环境,最高使用温度问300℃。


ZMAREZ® 930A 可加工成O形圈、膜片、垫圈、胶条、胶板及客户定制产品。

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适合热制程的全氟橡胶

低释气性

耐磨,低摩擦系数

低压变

腔室密封

排气阀

观察窗

气体入口、出口处密封

晶圆处理部件

沉积:LPCVD、CVD、APCVD、HDPCVD、PECVD、RPCVD、SACVD

等离子刻蚀

灰化

溅射、离子注入

氧化、扩散、退火