ZMAREZ® 890B 全氟弹性体零件是一种黑色产品，拥有优良的耐化特性。在氟、氯、氧等离子体中具有极低的重量损失和超低的粒子生成。它还具有优异的抗干法化学性能，并具有优异的热稳定性、压缩永久变形和释出气体性能。适用于半导体制程中等离子体的环境，最高使用温度为320℃、
ZMAREZ® 890B 可加工成O形圈、膜片、垫圈、胶条、胶板及客户定制产品。
适合热制程的全氟橡胶
低释气性
耐磨，低摩擦系数
低压变
动态
舱门
摆阀、隔离阀
腔室密封
唇形密封
静态
灯管
管路接口
排气阀
等离子发生器
观察窗
沉积：LPCVD、CVD、APCVD、HDPCVD、PECVD、RPCVD、SACVD
等离子刻蚀
灰化
溅射、离子注入
氧化、扩散、退火
