ZMAREZ® 910A 全氟弹性体零件是一种琥珀色半透明产品，具有优良的抗氟基等离子体性能，包括非晶/微晶硅薄膜沉积。它在氟基等离子体（如NF3、F2等）中具有极低的重量损失和超低的粒子生成。它还具有优异的抗干法化学性能，并具有优异的热稳定性、压缩永久变形和放气性能。适用于半导体制程中等离子体的环境，最高使用温度为 270℃。
ZMAREZ® 910A 可加工成O形圈、膜片、垫圈、胶条、胶板及客户定制产品。
超高洁净度，半透明全氟橡胶
低释气性
耐磨，低摩擦系数
极佳的耐氧基、氟基等离子体性能
动态
舱门
摆阀、隔离阀
腔室密封
唇形密封
静态
灯管
管路接口
排气阀
等离子发生器
观察窗
沉积：LPCVD、CVD、APCVD、HDPCVD、PECVD、RPCVD、SACVD
等离子刻蚀
灰化
溅射、离子注入
氧化、扩散、退火
